中文名称：四氟化钛

英文名称：Titanium tetrafluoride

CAS#:7783-63-3

纯度：99%

外观：白色粉末

储存：防潮干燥通风

包装信息：100g、1kg或按客户需求包装

用途：用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。